薄膜铌酸锂器件与光纤阵列的自动化有源及无源光耦合
六轴高精度运动控制，支持纳米级光学对准
支持先进光子集成器件的端面耦合
直流与射频探针自动接触
集成薄膜铌酸锂电光器件射频Vπ测试
集成光耦合、直流测试与射频性能测试的一体化流程
集成MES系统，实现测试数据全流程追溯与生产过程管控
自动化耦合与测试
自动化探针平台
